EUV 노광장비 프로토타입은 중국 광둥(廣東)성 선전(深圳)의 최첨단 보안 연구시설에서 올해 초 완성돼 시험 단계에 들어갔다고 로이터통신이 지난 17일 보도했다. 파이낸셜타임스(FT) 역시 중국이 네덜란드 ASML의 EUV 노광장비 중고 제품을 해외에서 들여와 자국 내 장비에 설치하는 방식으로 업그레이드를 하고 있다고 19일 전했다.
이 노광장비 프로토타입은 이미 EUV 광원을 성공적으로 생성하는 것으로 알려졌다. 로이터는 “이 EUV 노광장비 개발사업은 ‘중국판 맨해튼 프로젝트’(미국의 원자폭탄 개발계획)로 불린다”며 “ASML 노광장비보다 조잡하지만, 시험 가동은 가능한 수준”이라고 덧붙였다. 이에 따라 반도체 칩을 생산하는 단계까지 3~5년밖에 남지 않았다는 섣부른 전망도 나온다.
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